中国江苏网讯(记者 丁小玲)半导体清洗设备是贯穿半导体产业链的重要工艺环节。8月8日,普达特科技有限公司(以下简称“普达特科技”)在徐州高新区电子信息产业园举行OCTOPUS平台首台套出货仪式。
据介绍,去年12月创新CUBE半导体单片清洗设备在徐首台套出货,今年5月,业界首创的双层链式机NIAK4光伏设备平台在徐首台套出货,8月8日,OCTOPUS半导体单片清洗设备平台首台套出货,不到一年的时间,普达特科技就完成了新品的“三连发”。
“全新的OCTOPUS半导体单片清洗设备平台首台套出货,标志着普达特半导体和泛半导体设备业务已进入快车道。”普达特科技CEO刘二壮表示,在徐州市政府的产业政策支持下,普达特科技将持续投入研发,继续提升设备性能和开发新产品。同时,公司将积极布局新的业务板块,为客户提供先进、稳定、可靠的核心设备,为早日实现半导体设备自主化贡献力量。
去年2月,进军半导体晶圆制造核心设备、国内先进的平台化高端制造的普达特科技有限公司,落地高端半导体设备制造项目,建设徐州工厂。项目总投资约8000万美元,占地面积3万平方米,目前产能可达年产太阳能清洗设备约300台/套、半导体晶圆清洗设备约100台/套。
普达特科技研发人员介绍,在半导体设备领域,普达特科技业务目前主要包含CUBE系列和OCTOPUS系列两大平台,此次出货的半导体清洗设备是OCTOPUS平台的首发产品。OCTOPUS系列半导体清洗设备,在尺寸、工艺性能、产能、吞吐量等方面都处于业内领先地位,吞吐量较同类产品高出17-25%。